等離子清洗機(jī)各按鍵指令

　　　命令注釋：左邊*個(gè)數(shù)碼管LED1是命令顯示，由Set鍵循環(huán)控制操作，各命令注釋如下：

　　“P”指令 初始上電；待機(jī)狀態(tài)；任意復(fù)位的顯示。

　　“1”指令 指在自動狀態(tài)的運(yùn)行開始命令，確認(rèn)鍵后執(zhí)行。

　　“2”指令 等離子清洗處理時(shí)間，單位為分，確認(rèn)鍵后存儲記憶。

　　“3”指令 射頻功率設(shè)置，顯示為zui大功率的百分比。確認(rèn)鍵后存儲記憶。

　　“4”指令 E表示自動控制，n表示非自動控制（手動控制）。在此命令下，按下“+”鍵顯示為E，按下“—”鍵顯示為n,確認(rèn)鍵后存儲記憶。

　　“5”指令 真空度設(shè)置，確認(rèn)鍵后存儲記憶。真空壓力寫入依據(jù)：初次使用時(shí)，若在常壓下顯示為“P”，關(guān)好倉門啟動真空泵，按下真空閥的按鈕，開始抽真空，隨著真空度的增加，右邊的三個(gè)LED進(jìn)入真空壓力的顯示，當(dāng)壓力大于99.1時(shí)，用手動給高壓，（Genera tor），觀察真空倉的顏色是否發(fā)白，若為紅色或者打火花，即刻停止高壓，繼續(xù)抽真空，隨著壓力數(shù)值的增加，再用上述方法實(shí)驗(yàn)，找到發(fā)白光的準(zhǔn)確的壓力值，在復(fù)位后用命令“5”寫入該數(shù)值即可。即作為真空度的標(biāo)準(zhǔn)值。（此項(xiàng)也是作為儀器安裝是否可以正常使用的標(biāo)準(zhǔn)）

　　“6”指令 空

　　以上各命令都可在Reset鍵下終止，回到復(fù)位狀態(tài)。所有數(shù)字量都可由“+”鍵、“—”鍵調(diào)整，確認(rèn)鍵后記憶保存，斷電不丟。當(dāng)數(shù)字量初始置入和發(fā)生改變 時(shí)請先按“+”鍵進(jìn)行調(diào)整，以確保可靠和減少寫入時(shí)間。

　　等離子清洗機(jī)是一新興的領(lǐng)域，該領(lǐng)域結(jié)合等離子物理、等離子化學(xué)和氣固相界面的化學(xué)反應(yīng)，此為典型的高科技產(chǎn)業(yè)，需跨多種領(lǐng)域，包括化工、材料和電機(jī)，因此將挑戰(zhàn)性，也布滿機(jī)會，由于半導(dǎo)體和光電材料在未來得快速成長，此方面應(yīng)用需求將越來越大。